重点研究机构

全家重点实验室（2 个）

·精密测试技术及仪器全国重点实验室

（2007/2012/2017 年评估为优）

时空信息精密感知技术全国重点实验室

（2023 年新建）

国家工程研究中心（1 个）

·光盘系统及应用技术国家工程研究中心

教育部重点实验室（3 个)

·智能微系统教育部重点实验室

·高精度导航技术教育部重点实验室

·光子测控技术教育部重点实验室

北京实验室（1 个）

·生物医学检测技术及仪器北京实验室

校内跨学科联合中心（2 个)

·清华大学类脑计算研究中心

·清华大学微米纳米技术研究中心

校企联合科研机构（3个)

·清华大学（精仪系）－中电海康集团有限公司类脑计算联合研究中心

·清华大学（精仪系）- 北方激光研究院有限公司先进激光技术联合研究中心

清华大学-北京航天测控技术有限公司高端分析测试仪器联合研究中心