国家重点实验室(1 个)
·精密测试技术及仪器国家重点实验室(2007/2012/2017 年评估为优)
国家工程研究中心(1 个)
·光盘系统及应用技术国家工程研究中心
教育部重点实验室(3 个)
·智能微系统教育部重点实验室
·高精度导航技术教育部重点实验室
·光子测控技术教育部重点实验室
北京实验室(1 个)
·生物医学检测技术及仪器北京实验室
校内跨学科联合中心(3 个)
·清华大学导航技术工程中心
·清华大学类脑计算研究中心
·清华大学微米纳米技术研究中心
校企联合科研机构(2个)
·清华大学(精仪系)-中电海康集团有限公司类脑计算联合研究中心
·清华大学(精仪系)- 北方激光研究院有限公司先进激光技术联合研究中心