“一流、竞争、流动”是我系师资队伍建设的指导思想。秉承人才强系核心战略，精密仪器系大力建设师资队伍。截至2026年3月，我系在职教师76人，其中正高职称32人，副高职称40人；两院院士3人，国家高层次人才称号和国家杰出青年科学基金获得者17人，国家青年人才称号和国家优秀青年科学基金获得者14人。另外，还有60名在站博士后、7名专业研究人员，144名职员和科研辅助人员。

2025年，精密仪器系高层次人才建设获重大突破。孙洪波教授当选中国科学院院士，3名教师获国家级人才称号，夯实学科发展的人才基础；举办精密测试技术及仪器国际会议，积极参与全球人才引进，对话国际高端人才，与国际知名专家建立深入联系。

我系先后聘请中国科学院包为民院士，中国工程院庄松林院士、李天初院士、周志成院士、朱广生院士，中国卫星网络集团有限公司原总经理张洪太，中国科学院大学光电学院院长樊仲维等担任兼职教授；先后聘请英国皇家科学院、皇家工程院院士Martin Sweeting、美国工程院院士 Albert P. Pisano、美国康纳尔大学 Frank Wise、德国莱比锡大学 Attila Tárnok、英国剑桥大学初大平担任杰出访问教授；聘请中国工程院外籍院士顾敏担任名誉教授，共同开展教学科研和人才培养工作。