9月4日上午,精仪系1994级校友、德国联邦物理技术研究所(PTB)光刻掩模版研究室负责人戴高良来校,为精仪系师生作题为《用扫描探针显微技术实现精确、可溯源的纳米尺度计量(Accurate and traceable nano dimensional metrology using Scanning Probe Microscopic(SPM) techniques)的学术报告。来自精仪系和航天部门的近百名师生听取报告。
报告中,戴高良介绍了他在德国PTB开展的纳米尺度计量领域的卓越工作,包括大扫描范围AFM(25mm25mm5mm),比通用AFM的扫描范围提高了2~3个数量级;用于计量溯源标准的CD-AFM,为工业界纳米测试计量提供基准。他还展望了纳米计量领域的前沿,提出测量问题和物理机制的有机结合可望最终实现真正意义的纳米溯源计量。
报告会后,精仪系系务会部分成员与戴高良就中、德科研和人才培养模式进行座谈交流。
