精密测试技术及仪器全国重点实验室是 2022 年在原精密测设技术及仪器国家重点实验室基础上整合组建，由清华大学与天津大学联合共建，是国内精密测试领域唯一的全国重点实验室，涵盖“仪器科学与技术”和“光学工程”两个国家一级重点学科。

实验室的研究围绕精密测试技术及仪器这一总方向，向基础研究和应用研究延伸，通过交叉融合世界科学技术的新发现和新技术，研究精密测试技术的新原理、新方法及仪器发展的关键技术问题，同时以围绕国民经济建设和国家安全的重大需求为主要研究目标，进行相关基础理论与关键应用技术研究。实验室自建成以来，解决了一批我国先进制造、信息通信、航空航天、能源环保等支柱产业以及国防、基础计量、人民健康、生态保护和科学研究等领域的精密测试问题，确立了自身在国内不可或缺的地位和国际上的影响力。如在高端装备与先进制造领域，为航天工程、先进机床、武器装备等制造过程提供了在线、快速、非接触精密测量技术；在微纳技术及应用领域，为微纳传感器、微执行器、微型飞行器、空间微系统及纳型卫星、新型超级电容器提供了整机系统与关键测控技术；在科学研究与高新技术前沿领域，为信息存储、光学测量、纳米测量、化学分析、医学检测技术与仪器等提供了先进光电测量技术、质谱分析技术等；在国防与社会发展领域，为复杂坐标测量、精密陀螺定向和定位、人民生活质量提高等研制了高精度、动态、复杂环境下传感、柔性传感与测量系统等。因在精密测量、空间微系统、光电测试等研究方向取得了一系列重要成果，在最近的3 次（2007 年/2012 年/2017 年）信息学科国家重点实验室评估中，均被评为A 类优秀。