精密测试技术及仪器国家重点实验室是1990年经国家计委批准、利用世行贷款、由清华大学与天津大学联合组建的国家级重点实验室。1995年实验室建成并通过主管部门验收，同时正式对外开放。目前实验室的学科领域涵盖了“仪器科学与技术”（两校）和“光学工程”（清华）两个国家一级重点学科。实验室分为清华大学实验区和天津大学实验区。

清华大学实验区的研究人员以清华大学精密仪器系光电工程研究所和仪器科学与技术研究所的教师与科研队伍为基本组成。研究队伍中包括中国工程院院士2人，国家杰出青年2人。

实验室的主要研究领域和方向归纳为：

◇ 激光及光电测试技术

◇ 传感及测量信息技术

◇ 微纳制造与测试技术

◇ 制造质量控制技术

发展

在建成的近二十年中，实验室在科学研究和国民经济建设中取得显著成绩：

◇ 1998年教育部所属国家重点实验室评估，被科技部评为“成绩显著的开放实验室”

◇ 2002年信息学科国家重点实验室评估，在参评的36个实验室中，本实验室排名第七

◇ 2007年信息学科国家重点实验室评估，本实验室被评为优秀(A类第1名)

◇ 2012年信息学科国家重点实验室评估，本实验室被评为优秀

在过去的5年间，本实验室先后承担国家性课题130余项，其中主持国家973项目3个专项和9个子课题的研究，承担国家863课题11项，国家重大专项615项，国家科技支撑计划3项，国家自然科学基金50余项。

实验室在精密测量、空间微系统等研究方向取得了一系列重要成果，获得国家技术发明奖二等奖54项，国家科技进步奖二等奖21项，省部级科技奖励7项。发表的学术论文被SCI收录370余篇，被EI收录500余篇，获得国际和国家专利授权190余项。