2011年9月27日，国家高新区MEMS研究院“MEMS研发中试平台”设备评审会在清华大学精密仪器系会议室举行。评审会由清华大学机械工程学院院长尤政主持，邀请东南大学MEMS教育部重点实验室主任黄庆安教授担任专家组组长，重庆大学微系统研究中心主任温志渝教授、北京大学微电子研究院副院长张大成教授、中国电科55所微纳米研究开发中心主任朱健研究员、哈尔滨工业大学微电子科学与技术系主任刘晓为教授、北京邮电大学智能通信、导航与微系统实验室主任邓中亮教授担任组员，共同对MEMS研发中试平台的设配配置方案及发展方向进行评审，并提出意见与建议。

淄博高新区管委会副主任牛圣银出席了设备评审会，并在会上向与会专家介绍了淄博高新区的产业基础、政策环境及国家高新区MEMS研究院的成立背景、功能定位。专家组在听取研究院筹备小组关于设备配置方案的汇报后，就MEMS研发中试平台的目标定位、设配配套、洁净间设计、二次配管等多项问题向研究院筹备小组进行提问，并展开了认真讨论。

会后，专家组一致通过MEMS研发中试平台的设备配置方案，并建议平台在设备生产能力配套、关键设备的先进性、相关配套经费的落实等方面进行建设完善。

国家高新区MEMS研究院“MEMS研发中试平台”由清华大学机械工程学院与淄博高新区管委会合作建设，立足MEMS中高端产品中试及小批量生产，可有效降低MEMS相关企业研发投入成本，加速MEMS产业资源在鲁中地区的集聚并辐射全国。本次设备配置方案通过评审会，将进入设备招标和建筑工程设计施工阶段。