校系两级设立奖学金和奖助学金多达30余项，其中系设奖学金8项。目前在校生的奖学金获奖率达50%，奖学金最高额度1.5万元/年。困难学生的助学金资助覆盖率达到100%，最高资助额度1.3万元/年。
系设奖助学金
| 总金额
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清华之友－敏通奖学金
| 每年6000
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清华之友——智溢实业奖学金
| 每年20000
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清华之友——正阳光电奖学金
| 每年20000
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宏乾电子奖学金
| 每年30000
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精仪系1982级校友奖学金
| 每年不定
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精仪系1987级校友奖学金
| 每年3500
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清华之友-KLA-Tencor奖学金
| 每年20000
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清华之友-海能赤字奖学金
| 每年40000
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