清华大学精密仪器系始建立于1932年，其前身为成立于1932年的清华大学工学院机械系，五十年代院系调整为清华大学机械制造系，六十年代初又调整为精密仪器与机械系，八十年代更名为精密仪器与机械学系，2013年学科调整重组，成立新的精密仪器系。

截至2022 年3 月，我系有教职工95人。其中，中国工程院院士2人，在职教授31人，副教授45人。为了更好的建设和发展我系，现面向国内外招聘，诚征有能之士的加入。