系内研究单位

1.光电工程研究所

2.仪器科学与技术研究所

3.激光与光子技术研究所

4.导航技术工程中心

国家重点实验室:

精密测试技术及仪器国家重点实验室

联合机构(校企联合):

1.清华大学-中电海康集团有限公司类脑计算联合研究中心

2.清华大学（精仪系）-常熟市天银机电股份有限公司尖端智能装备联合研究中心

3.清华大学-中国计量科学研究院精密测量联合实验室

校内跨学科联合中心:

1.导航技术工程中心

2.微米纳米技术研究中心

3.宇航技术研究中心

4.质谱仪器研究中心

5.海洋技术研究中心